질량 계측 제품

공정 진행상황 파악을 위한 정밀 측정을 제공

METRYX® 제품군

기술: 질량 계측
솔루션: 솔루션, 인터커넥트, 패터닝, 첨단 메모리패키징

인라인 공정 모니터링이 적용됨으로써 생산 웨이퍼 트렌드(trend)와 편위(excursion)를 식별하여 시정함으로써 추가 수율 손실을 신속히 방지합니다. 증착, 식각 및 세정 단계에서 공정상의 웨이퍼 질량 변화 측정은 특히 기존의 광학 계측 기법으로는 효율성이 낮은 초박막 필름, 두꺼운 필름, 그리고 보다 최신인 복합 삼차원 기하 형상의 칩 설계에 대한 모니터링과 제어를 하는 단순하고 직접적인 수단입니다.

Lam Research의 Metryx질량 계측 시스템은 플랫폼에 통합되는 모듈과 독립형 시스템 두 가지 형태로 모두 이용가능하며, 고급 공정 모니터링과 삼차원 장치 구조들에 대한 제어를 위하여 서브 밀리그램 질량 측정 능력을 제공합니다.

Read more ››
© Copyright 2018 Lam Research Corporation | All Rights Reserved